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Title 제9회 반도체 기술대상 시상식에서 '국무총리상' 수상 2007-09-27
당사는 9월 18일 COEX에서 시상된 반도체기술대상 시상식에서
"세계 최초 ACP(Adaptively Coupled Plasma) 소스를 이용한 300mm 산화물 식각장비"로 국무총리상을 수상하였습니다.
당사의 장비는 국내 반도체 소자업체로부터 양산을 검증받았으며
반도체 공정의 핵심장비로써 수입대체 효과 및 부품의 국산화에 크게 기여할 것으로 예상하고 있습니다.