Hybrid 시스템이란 하나의 시스템에 두 가지의 공정이 가능하도록 만든 시스템을 말한다. 에이피티씨㈜에서는 metal 공정과 poly 공정을 위한 두 개의 chamber와 main body로 구성된 Hybrid system을 선 보인바 있다.