제품소개
Our Products
Poly Etcher System
시장 트렌드에 부합하여 수요가 증가하는 장비의 개발 및 판매
Poly 식각 장비의 수요 증가에 따른 300mm 웨이퍼용 Poly 식각 장비 라인업 구축
Poly Etcher
300mm 웨이퍼용 Poly 식각 장비 라인업
구분 특징
Leo NK I ACP4 Source, 4zone ESC,
Source Coil Tilting
Leo NK I-C ACP4 Source, 4zone ESC,
Source Coil Tilting, Size 축소
Leo NK II ACP5 Source, 18zone ESC,
Source Coil Tilting & Lifting